對于蒸汽滅菌而言，滅菌溫度是首先要控制的蒸汽參數(shù)，因為微生物對熱的耐受力因種類而不同。實際應用中往往通過檢測蒸汽溫度來控制滅菌效果，但是蒸汽溫度和滅菌要求溫度有時會不同，當蒸汽中含有2%以上的冷凝水時，雖然蒸汽的溫度達標，但由于分布在產品表面的冷凝水對熱量傳遞的阻礙，使得到達產品的實際滅菌溫度會低于滅菌溫度要求。特別是鍋爐攜帶的爐水，其水質可能會污染滅菌產品。

　　空氣等不凝性氣體的存在會對蒸汽的滅菌溫度形成另外的影響，當滅菌柜室內的空氣未排除或未*排除會導致嚴重的滅菌問題。

　　一方面由于空氣是熱的不良導體，空氣的存在會形成冷點，使得附著空氣的產品達不到滅菌溫度。另外一方面，空氣的形成的分壓會導致實際的蒸汽壓力低于滅菌蒸汽壓力要求，從而導致滅菌失敗。

　　蒸汽過熱度是影響蒸汽滅菌的一個重要因素，經(jīng)常會被忽略，EN285要求滅菌蒸汽過熱度不應超過3℃。過熱蒸汽，其性質相當于干燥的空氣，其本身的傳熱效率低下；另外一方面，過熱蒸汽釋放顯熱而溫度下降沒有達到飽和點時，不會發(fā)生冷凝，此時放出的熱量非常小，使得熱量傳輸達不到滅菌要求，此現(xiàn)象在過熱3℃以上時即表現(xiàn)明顯。蒸汽過熱還可導致物品快速老化。過熱蒸汽有時來源于電廠熱網(wǎng)蒸汽，有時過熱蒸汽的產生是由于蒸汽減壓導致的。

　　蒸汽輸送過程中管道污垢和沿途腐蝕銹物會造成二次污染，所以采用瓦特超級潔凈蒸汽過濾器對濕熱滅菌的工業(yè)蒸汽進行一定的前處理非常必要。